中国能制造出高端光刻机,国产半导体设备厂商迎新机遇!
近日,相关媒体消息称,上海微电子正极力研发28纳米浸润式DUV光刻机,预计在2023年底将交付国产第一台SSA/800-10W光刻机设备。此前,国家知识产权局公布了一项华为新的专利。反射镜、光刻设备及其控制方法在极紫外光刻及核心技术上取得突破性进展。
近日,相关媒体消息称,上海微电子正极力研发28纳米浸润式DUV光刻机,预计在2023年底将交付国产第一台SSA/800-10W光刻机设备。此前,国家知识产权局公布了一项华为新的专利。反射镜、光刻设备及其控制方法在极紫外光刻及核心技术上取得突破性进展。